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床單位臭氧消毒器先通過氣泵將床單位(床單位密閉於消毒床罩或消毒袋中)中空氣抽出，形成近似真空(以到達臭氧與床單位的充分接觸)；然後不鏽鋼搪瓷臭氧管產生臭氧氣體，通過氣泵將臭氧氣體充入床單位進行消毒，消毒完後，再通過氣泵將床單位中剩餘的臭氧氣體抽出，通過臭氧解析裝置解析還原氧氣。

床單位臭氧消毒設備采用抽真空消毒，設備采用大屏幕中文液晶顯示器，抽真空、充臭氧、消毒解析還原可預先設置，一個消毒周期自動完成。

床單位臭氧消毒器設備機型是以高頻高壓電來擊空氣中氧氣產生臭氧為原理的臭氧消毒機，具有機體積小，電耗低，臭氧產量大，滅菌和消毒速度快，不產生殘留和二次汙染。

床單位臭氧消毒器主要由不鏽鋼搪瓷臭氧管、模塊高壓電源、解析裝置、氣泵、消毒床罩及消毒袋、大屏幕中文觸摸屏操作運行監控係統、機殼組成。

床單位臭氧消毒機主要由不鏽鋼搪瓷臭氧管、模塊高壓電源、解析裝置、氣泵、氣管及接頭、消毒床罩及消毒袋、大屏幕中文觸摸屏操作運行監控係統、機殼組成