床單位臭氧消毒器主要是由不鏽鋼搪瓷臭氧管、模塊高壓電源、臭氧解析裝置、氣泵、矽膠管及連接頭、消毒床罩及消毒袋、彩屏、藍屏中文液晶觸控屏，操作運行監控係統、機殼組成，原理在於通過氣泵將床單位消毒床罩或消毒袋中的空氣抽出，使其在一定程度上形成一個真空狀態，這樣既可確保充氣過程中快速達到消毒所具備的濃度，又能使臭氧與床單位的充分接觸，然後內部臭氧發生器利用空氣中氧氣產生臭氧氣體，通過氣泵將臭氧氣體注入消毒罩或消毒袋，消毒完畢後，又通過氣泵將稱床單位消毒罩中殘留的臭氧抽出，再經床單位消毒機的臭氧解析裝置解析還原氧氣。